- 商品名稱：pipi小型等離子裝置_PIPI小型等離子清洗機(jī)
- 商品編號(hào)：YQC001186
- 品牌：YAMATO雅馬拓
- 上架時(shí)間：2019-06-03
- 商品毛重：0克
如果您發(fā)現(xiàn)商品信息不準(zhǔn)確，歡迎糾錯(cuò)；高頻輸出：200W 反應(yīng)腔：W130×D130mm
等離子
等離子為氣體發(fā)生電離狀態(tài)，形成帶有正電的離子及帶有負(fù)電的電子狀態(tài)。等離子為帶有高能量、反應(yīng)性非常高的狀態(tài)，其容易與物質(zhì)表面進(jìn)行反應(yīng)的特性被廣泛使用。
等離子RIE（Reactive Ion Etching 方式）
RIE是去除物體表面的有機(jī)物污垢，同時(shí)去除無(wú)機(jī)物的最較合適的清洗方式。
RIE方式為加速離子層中的陽(yáng)離子，沖擊污染表面的物理性清洗方式。
特點(diǎn)
● 經(jīng)濟(jì)型等離子清洗機(jī)
● 簡(jiǎn)單的等離子處理操作
● 等離子模式為RIE模式
用途
● 去除有機(jī)物
● 樹(shù)脂/膜等表面改質(zhì)
● 改善粘接效果
● 提高親水性
● 去除金屬氧化物
● 蝕刻
內(nèi)槽
外形圖
規(guī)格
型號(hào)
PM100
等離子方式
RIE模式
電極構(gòu)造
平行平板式
高頻輸出
Max200W
頻率
13.56MHz
電極尺寸
W130×D130mm
外形尺寸
W438×D520×H565mm
反應(yīng)氣體
Ar
填充氣體
N 2 或干燥空氣
反應(yīng)氣體流量計(jì)
流量計(jì)
控制方式
程序控制
電源
單相100V
真空泵（選配）
油泵 135L/min（50Hz）
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