• 商品名稱：PR500/510等離子灰化機(jī)|PR500/510等離子清洗機(jī)
• 商品編號(hào)：YQC001171
• 品牌：YAMATO雅馬拓
• 上架時(shí)間：2021-06-23
• 商品毛重：0克

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高頻輸出 50~500W 反應(yīng)腔 Φ215×305mm

低溫等離子

PR500：手動(dòng)控制

PR510：自動(dòng)觸摸屏控制
低溫等離子的經(jīng)典款非常具有歷史性。采用自動(dòng)協(xié)調(diào)功能及觸摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設(shè)備。

用途

●去除光刻膠
● 部品清洗
● 界面活性處理
● 微研磨
● 硅晶圓，玻璃基板對(duì)應(yīng)

特征

● 大口徑（Φ215mm）石英反應(yīng)腔
● 小型一體化設(shè)計(jì)
● 操作簡(jiǎn)單的觸摸屏方式（PR510型）

內(nèi)槽

硅晶圓灰化狀態(tài)

規(guī)格

型號(hào)		PR500	PR510
模式		DP模式，桶型
控 制 部	高頻輸出功率	Max500W
	頻率	13.56MHz
	同調(diào)方式	自動(dòng)協(xié)調(diào)
反 應(yīng) 部	反應(yīng)腔	石英 Φ215×305mm
	反應(yīng)氣體	2系統(tǒng)（O 2 ／CF 4 ）
	控制	手動(dòng)	觸摸屏自動(dòng)控制
	配管材質(zhì)	不銹鋼、特氟龍
外形尺寸		W438×D520×H760mm	參照規(guī)格書
重量		約60kg	參照規(guī)格書
電源		單相AC100V 9A	三相AC200V 8A

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