• 商品名稱：等離子清洗機(jī)YSP600U/2KU
• 商品編號：YQC001912
• 品牌：YAMATO雅馬拓
• 上架時間：2019-08-01
• 商品毛重：0克

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樣品傳輸系統(tǒng)為模塊式，便于組合。

特點(diǎn)

• 體積小，節(jié)省空間。
• 選用小型腔體，反應(yīng)效率高。
• 更容易嵌入生產(chǎn)線使用。
• 可通過操作面板自由切換等離子模式。

• 配備冷卻反應(yīng)臺。

技術(shù)參數(shù)

型號 YSP600U YSP2KU 模式 RIE（DP模式選購） 高頻輸功率 600W 2000W 反應(yīng)臺尺寸 W300×D300mm W600×D600mm 反應(yīng)氣體 2進(jìn)氣系統(tǒng)（氧氣、氬氣） 反應(yīng)氣體流量控制 質(zhì)量流量控制器 氣體導(dǎo)入口 反應(yīng)氣體2個、填充氣體1個、空氣1個

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